南京师范大学物理科学与技术学院, 江苏省光电技术重点实验室,南京 210023
研制了一种实用性强的零差激光干涉仪, 采用立方角锥棱镜代替平面反射镜, 克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题, 并将其应用到大量程的位移测量中。研究了该改进型零差激光干涉仪的位移测量原理及信号处理方法。实验中, 使用PI公司高精度的商用导轨来标定测量结果, 通过比较测量结果来验证干涉仪的性能。实验结果表明, 在百毫米级大范围位移测量中该干涉仪的位移测量精度可以达到小于0.7 μm。对测量过程中各种可能的误差来源进行了详细的分析, 分析结果与实验相符。
位移测量 零差激光干涉仪 立方角锥棱镜 实时精密测量 误差分析 displacement measurement homodyne laser interferometer cubic corner reflector real-time precision measurement error analysis
长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022
在光学工程应用方面，常利用棱镜对光路的折转作用，完成一定的转像、检测和测量等工作。在实际应用中，考虑到棱镜加工误差对光轴产生的影响，应用动态光学理论及推导公式，分别给出直角屋脊棱镜与立方角锥棱镜的作用矩阵、特征方向和极值轴向，得出2种棱镜光轴偏差的数学模型。根据实际加工误差，进一步推导出2棱镜的理论误差，并对2棱镜的理论误差进行比较。最后得出可以用直角屋脊棱镜代替立方角锥棱镜的结论。
屋脊棱镜 立方角锥棱镜 作用矩阵 误差 roof prism corner-cube prism function matrix error
