1 中国科学院大学, 北京 100049
2 中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术重点实验室, 上海 200083
为了提高单频激光干涉测振系统的测量精度，提出了一种基于伪极值的非线性误差实时主动补偿方法，该方法使用伪极值计算直流偏置误差和不等幅误差，通过矢量相位校正运算抑制非正交误差。实验结果表明：该方法降低了测量期间因激光器功率漂移、Abbe误差导致的正交信号椭圆轨迹螺旋化形变，以及因数字信号传输误码造成的异常数据对非线性误差补偿的影响。在搭建的单频激光干涉测振系统中，使用伪极值法结合矢量相位校正运算方法可将周期性剩余误差峰峰值降低至0.8 nm，比传统的极值法具有更好的非线性误差抑制效果，且该方法不需要复杂的运算，保持了良好的实时性。
测量 单频激光干涉测振系统 非线性误差补偿 伪极值法 纳米测量 激光与光电子学进展
2018, 55(8): 081204
南京师范大学物理科学与技术学院, 江苏省光电技术重点实验室,南京 210023
研制了一种实用性强的零差激光干涉仪, 采用立方角锥棱镜代替平面反射镜, 克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题, 并将其应用到大量程的位移测量中。研究了该改进型零差激光干涉仪的位移测量原理及信号处理方法。实验中, 使用PI公司高精度的商用导轨来标定测量结果, 通过比较测量结果来验证干涉仪的性能。实验结果表明, 在百毫米级大范围位移测量中该干涉仪的位移测量精度可以达到小于0.7 μm。对测量过程中各种可能的误差来源进行了详细的分析, 分析结果与实验相符。
位移测量 零差激光干涉仪 立方角锥棱镜 实时精密测量 误差分析 displacement measurement homodyne laser interferometer cubic corner reflector real-time precision measurement error analysis
