1 中国科学院 光电技术研究所,四川 成都 610209
2 中国科学院 研究生院,北京 100049
为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8 nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8 nm 移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种主要误差：移相误差、几何结构误差、振动误差、探测器误差(非线性误差和量化误差)、光源误差(波长不稳定和强度不稳定)、空气扰动和折射率变化误差。通过对这些误差理论分析和模拟,量化了各误差对测量精度的影响,其中移相误差、几何误差、振动误差和空气折射率误差影响最为显著。根据测量精度要求和仿真结果,得到实现纳米级测量的干涉仪系统参数和环境参数设置要求。
干涉测量 移相菲佐干涉仪 光学检测 误差分析 纳米检测 激光与光电子学进展
2010, 47(4): 041202
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027
介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移测量系统.该系统的理论分辨力为4nm,实验测得系统分辨力小于10nm.经过实验,验证了该系统的可行性.实验结果表明,该装置灵敏度及重复性好,结构简单,便于构成微电子机械系统--MEMS(micro electro mechnical systems),实现系统微型化及自动化.
光杠杆 纳米检测 PSD MEMS
