柔性光电子器件对微纳制造技术提出了更高、更多维度的要求,包括大幅面、表面复杂结构、跨尺度、透明或柔性基底等。主要介绍基于相位元件调制的3D激光直写技术和紫外连续变频光刻技术,它们可分别实现复杂表面浮雕结构和像素化纳米结构的精确制备。此外微纳结构限定性生长或涂布方法提供了一种绿色环保的材料功能化手段。借助微纳结构图形化、功能化平台,最后介绍了新型柔性光电子材料/器件的应用创新。可以预见,微纳光制造技术将推动柔性光电子产业的持续创新发展。

“新基建”为光电子产业的进一步发展提供了难得的机遇, 光电子产业自身的发展应首先加强基础研发能力建设。文章描述了化合物半导体光电子器件的外延生长、薄膜淀积、光刻、键合等主要工艺制程的特点; 分析了光电子产业中智能制造、数字化制造、分散化制造、绿色制造等能力建设趋势。

光纤激光作为第三代激光技术的代表, 具有其他激光器无可比拟的技术优越性和广阔的应用发展空间, 将可能会逐步取代全球大部分高功率 CO2激光器和绝大部分 YAG激光器。本文利用光纤激光器的优点, 集成开发了了第五代全新的光纤激光机器人毛化系统, 系统以光纤激光器为载体, 协同机器人及其它设备来完成轧辊毛化作业。光纤激光毛化柔性工作站与传统的 CO2激光毛化设备相比取得了多项重大突破, 如系统采用普通机床代替昂贵的磨床实现毛化功能, 是一项开创性的工作, 意味着节约大量的设备投资费用, 并大幅度提高生产效率；系统对轧辊旋转时的轴向跳动容忍度大, 毛化速度可以大幅度的提高；光纤激光毛化技术可实现毛化点形貌的任意设计以及毛化点的有序、无序排列；毛化成本大幅度降低, 没有三废, 是一种绿色制造技术。