为了检测红外瞄具在高低温恶劣环境下对不同波长的红外目标成像可靠性，利用黑体和平行光管组成的光学系统模拟无穷远红外目标，红外瞄具置于高低温环境下，CCD采集红外瞄具对红外目标所成的像，从而判定高低温下红外瞄具成像质量。所设计的平行光管视场大，各波长对应焦平面处在20 lp/mm空间频率下的MTF均高于0.2。同时为了实现快速准确地在检测系统中提供稳定的-55~70 ℃的高低温实验条件，采用一种基于自适应模糊PID温度控制技术。采用自适应因子将模糊推理器和PID控制器相结合，通过在线自调整控制参数，进一步提高了PID控制器的性能和系统的控制精度。实验表明该方法提高了常规PID控制的动态响应过程并保持无静态误差，其控制精度可达±0.05 ℃。

针对当前图形化蓝宝石衬底 ICP干法工艺刻蚀流程, 对工艺腔室真空环境微气压调节非线性特征进行了动态监测, 本文提出了一种基于自适应模糊 PID的微气压控制算法。该算法利用质量流量计 MFC及真空泵组减压阀的参数调节, 实现真空环境微气压调节。通过 Matlab仿真及刻蚀流程气压控制测试表明, 工艺腔室的真空微气压自适应模糊 PID控制基本符合仿真结果。在气压为 0.13~20 Pa的真空环境下, 工艺腔室气压动态控制效果良好, 具有鲁棒性强、超调量小、过渡时间短等特点, 满足工艺刻蚀流程中正常刻蚀速率、选择比及均匀性等指标。