1 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
2 成都工业学院 机械工程学院, 四川 成都 611730
有机薄膜半导体器件在微电子和光电子领域具有重要的研究与应用价值, 其成膜质量是影响器件性能的重要因素, 如空间分布的均一性.采用反射差分显微测量方法, 对各向异性基底上生长的并五苯薄膜的反射差分显微图像进行分析, 研究了该薄膜参数空间分布的非均一性, 同时展示了反射差分显微术在薄膜制备检测及工艺研究的应用价值.
反射差分显微术 各向异性 薄膜质量 偏振光学 reflectance difference microscopy anisotropy film quality polarization optics
