1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 电子科技大学光电信息学院, 四川 成都 610054
3 中国科学院大学, 北京 100049
为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理，推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子，分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响，发现测量范围主要受到高级球差和大剪切比限制。设计了一维相移剪切干涉仪的可见光实验装置，在632.8 nm 波长分别使用周期为9 μm、18 μm 一维光栅测量了一个NA=0.25 显微物镜的波像差，实验结果表明：光栅周期为18 μm 时可以正确测量，光栅周期为9 μm 时，调制度存在反转点，像差超出测量范围，并验证调制度函数分析结果的正确性。
测量 相移剪切干涉仪 调制度函数 波像差 激光与光电子学进展
2015, 52(11): 111202
