金属玻璃是在熔融状态下急速冷却降温形成的新型合金，它具有优异的物理、化学性能，在航空、化工、**等领域具有巨大的应用潜力。金属玻璃的制备工艺已经十分成熟，不同基底以及大尺寸块状金属玻璃的制备已经实现，但其高质高效的加工还面临许多问题。高温、高应变条件下，传统的加工方式容易使金属玻璃发生晶化和氧化，导致材料失去优异性能，使金属玻璃的应用受阻。近年来，随着超快激光器件的成熟，超快激光加工以其热效应小、加工精度高、不容易发生晶化和氧化等特点，为金属玻璃高质高效、低损耗加工提供了可能。同时针对超短脉冲激光与金属玻璃相互作用的机理也有了更加深入的研究。本文主要介绍金属玻璃的特殊性能、超短脉冲激光加工金属玻璃的机理及研究现状，并对超短脉冲激光加工金属玻璃存在的相关问题进行了总结和展望。

为解决大口径非晶金属第一镜实现难题，在研究块体金属玻璃Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8材料基础上，采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材，通过非平衡磁控溅射镀膜方法，实现了Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材的设计，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜；通过Cr成分改进，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。

研究了块体金属玻璃（块体非晶合金）Zr65Al7.5Ni10Cu17.5, Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8和金属多晶钼3种第一镜材料经低温等离子体H和Ar辐照后的表面特性变化。结果表明，两种块体金属玻璃的抗H等离子体溅射能力与其成分有关。随着等离子体辐照时间的增加，金属多晶钼和块体金属玻璃Zr65Al7.5Ni10Cu17.5的表面粗糙度增大,镜面反射率降低；而块体金属玻璃Co61.2B26.2Si7.8Ta4.8的表面粗糙度减小,镜面反射率升高。X射线衍射仪（XRD）分析表明，块体金属玻璃在离子体溅射过程中，表面微结构具有自修复性。

Mini-LIA为MHz重复频率双脉冲电子直线感应加速器,由双脉冲功率系统、热阴极电子枪注入器及金属玻璃磁芯感应加速腔等组成。在此平台的实验获得了数百ns间隔(即MHz重复频率)的双脉冲高压,每个脉冲幅值达到80 kV,脉冲半高全宽为80 ns;在感应腔加速间隙处测得双脉冲加速电场;在加速器出口处测量得到流强约1.1 A的双脉冲电子束流。实验结果表明:利用硅堆隔离汇流装置可实现MHz重复频率的双脉冲高压,金属玻璃磁芯感应加速腔和六硼化镧热阴极电子枪均适合MHz重复频率双脉冲工作方式。

采用飞秒激光对Zr基金属玻璃在空气中进行了表面烧蚀、微打孔与微细切割等过程的研究。通过扫描电镜(SEM)、能量弥散X射线(EDX)能谱分析与透射电镜(TEM)及电子衍射等方法,分析了飞秒激光烧蚀金属玻璃的表面形貌与加工区域发生的相关效应。实验与分析表明加工区域周围无熔融和液滴溅射现象,热影响区极小,并且无晶化现象发生,但飞秒激光微细加工金属玻璃时存在极薄的表面氧化现象。研究结果表明,在适当选择参数的条件下,飞秒激光烧蚀是一种极有前途的金属玻璃无晶化微细加工方法。