长春理工大学, 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
提升宽条形半导体激光器腔面抗光学灾变（COD）能力，改善宽条形半导体激光器的输出工作特性，一直是高亮度大功率宽条形半导体激光器器件工艺研究的核心。基于氮氢混合气体的等离子体反应钝化原理，通过AlN高效导热薄膜作为腔面钝化保护层，实现器件最大输出功率提高达66.7%；连续电流工作时，3.5 W功率输出的情况下，其千小时退化率小于0.73%。
光电子学 高亮度大功率半导体激光器 等离子体 腔面钝化 激光与光电子学进展
2013, 50(12): 122502
