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  ———封面论文导读———

  计算光刻|全芯片光源掩模优化技术新进展现(21期)

光刻机是集成电路制造的核心装备,其作用是将承载集成电路版图信息的掩模图形以成像的方式转移至硅片面的光刻胶内,其技术水平决定了集成电路的集成度,关乎摩尔定律的生命力。为实现更高的光刻分辨率等性能指标,光刻机软硬件系统不断发展。照明系统由传统照明发展为自由照明。投影物镜由干式发展到浸液式,数值孔径不断增大、像差不断减小。掩模台、工件台、对准、调焦调平等系统不断发展。然而...详细»

  中子外部CT检测升级,成像去伪影更清晰(22期)

中子成像在检测含较轻元素(氢、锂、硼等)的材料、原子序数相近元素、同位素、放射性材料等方面有着X射线无法具备的优势。 当进行传统中子CT扫描时,中子束与探测器构造的透照场需要完全包络样品的横向截面。对于筒状样品内部填充物与筒壁粘接状态、管道焊缝及腐蚀等的检测,关注部位为筒壁区域的裂纹、腐蚀、分层、脱粘等缺陷。当样品尺寸较大时,受探测器成像面积、射线能量等因素的限制,传统CT不能保证中子束在每个旋转视角下都能包络被检样品,导致重建图像质量无法满足精准判读的要求...详细»

本期栏目(2020.21)

表面光学;   薄膜;   成像系统;   光纤光学与光通信;   光学设计与制造;   光谱学;   光纤光学与光通信;   机器视觉;   激光器与激光光学;   散射;   图像处理;   衍射与光栅;   遥感与传感器  

本期栏目(2020.22)

材料;   成像系统;   大气光学与海洋光学;   非线性光学;   光谱学;   光纤光学与光通信;   激光器与激光光学;   量子光学;   图像处理;   衍射与光栅;   遥感与传感器;   仪器,测量与计量  



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 基本信息

 创刊:1981年·半月刊

 名称:光学学报

 英文:Acta Optica Sinica

 电话:021-69916837

————  2020年第21期优秀论文  ————

基于衍射谱分析的全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选(封面文章)

廖陆峰,李思坤,王向朝,张利斌,张双,高澎铮,韦亚一,施伟杰

[第一单位] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室

[摘要] 提出了一种全芯片光源掩模联合优化的关键图形筛选方法,用图形的主要频率表征图形的特征,用主要频率的位置和轮廓信息描述主要频率在频域上的分布特征。设计了相应的主要频率提取方法、覆盖规则、聚类方法以及关键图形筛选方法,实现了全芯片光源掩模联合优化的关键图形筛选...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第21期, p.2122001 

一种基于深度学习的光学合成孔径成像系统图像复原方法

唐雎,王凯强,张维,吴小龑,刘国栋,邸江磊,赵建林

[第一单位] 西北工业大学物理科学与技术学院

[摘要] 光学合成孔径成像系统中光学传递函数的频率响应下降,会不可避免地导致成像模糊,因此通常需要借助维纳滤波或盲解卷积算法来实现图像复原,最终获得清晰的高分辨率图像。提出一种基于U型卷积神经网络的深度学习框架,通过MATLAB软件构建数据集,以对网络进行训练,并将所训练的U型网络与盲解卷积算法的图像复原效果进行对比...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第21期, p.2111001 

飞机尾焰的固体粒子红外辐射抑制效果仿真分析

于鲲,丛明煜,戴文聪

[第一单位] 哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心

[摘要] 对含固体粒子的气固两相尾焰红外辐射特性进行了仿真建模,并采用光线跟踪方法计算了尾焰辐射强度和辐射抑制率。设计了飞行状态尾焰流场的仿真环境和空基红外相机成像的仿真场景,通过固体粒子辐射抑制机理确定了粒子直径、粒子流量和粒子复折射率是影响辐射抑制率的主要因素...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第21期, p.2129001 

汤姆孙散射系统中发黑材料的表面散射特性测量

王鹏,袁鹏,谭伟强,郑坚

[第一单位] 中国科学技术大学工程与应用物理系近地空间重点实验室

[摘要] 本文研制一套全自动散射特性测试平台,并使用该测试平台对汤姆孙散射诊断系统中杂散光吸光材料的表面散射特性开展实验测量研究。在1064 nm的波段下,该测试平台对双向反射分布函数的本底噪声水平优于2×10 -5sr -1...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第21期, p.2129002 

————  2020年第22期优秀论文  ————

一种改进的中子外部CT图像伪影抑制方法(封面文章)

林强,杨民,张晓敏,唐彬,刘斌,霍合勇

[第一单位] 北京航空航天大学机械工程及自动化学院

[摘要] 径向边缘的伪影是外部CT图像明显存在的缺点。为了抑制外部CT图像径向边缘的伪影,采用加权方向全变差(WDTV)算法计算沿径向和切向方向的局部方向差分,引入两个权重参数对这两个局部方向差分进行加权求和。WDTV算法可以更好地描述外部CT图像梯度模的稀疏性,有效提升重建图像的质量...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第22期, p.2210001 

湍流信道下指向误差对自适应副载波调制性能的影响

陈丹,鲁萌萌,刘艳蓉

[第一单位] 西安理工大学自动化与信息工程学院

[摘要] 基于未对准衰落(即指向误差)和Malaga湍流分布的联合概率密度函数,采用Meijer G函数推导自适应多进制相移键控(MPSK)调制系统的平均误比特率和中断概率渐近表达式。接收机半径一定时,通过调整光束束腰半径和抖动标准差参数值,可获得系统最优误比特率...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第22期, p.2206004 

基于自适应振动抑制的星载远距离测距跟踪方法研究

贾远东,强佳,张亮,贾建军

[第一单位] 中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术重点实验室

[摘要] 在星载远距离非合作目标测距领域中,目标常常为暗弱目标,成像帧频有限,因此目标跟踪能力受限并影响测距范围。在星载远距离非合作目标跟踪过程中,跟踪误差主要来自于本体振动。为了增强系统主动振动抑制能力,提高系统的跟踪精度,使用自适应控制来实现目标的跟瞄控制...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第22期, p.2212003 

不同取向Co 2+∶MgAl2O4的可饱和吸收特性的研究

方子君,惠勇凌,李国泰,朱占达,雷訇,李强

[第一单位] 北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院

[摘要] 通过实验研究了不同切割方向Co 2+∶MgAl2O4的可饱和吸收特性。测量了[100]和[110]切割方向Co 2+∶MgAl2O4的各向异性透过率特性,测量结果表明,[100]和[110]切割晶体的透过率随入射光偏振方向呈周期性变化...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第22期, p.2214001 

饱和非均匀光纤中啁啾孤子的频谱特性研究

薛瑞荣,贾鹤萍,杨荣草

[第一单位] 山西大学物理电子工程学院

[摘要] 基于包含拉曼效应的三次-五次变系数非线性薛定谔方程的啁啾孤子解,研究了周期色散分布的饱和非均匀光纤系统中啁啾单孤子和双孤子的频谱演化特性。结果表明,在均匀光纤和非均匀光纤中,由于高阶效应仅与孤子的相位相关,因此高阶效应不会影响孤子时域中的波形,但会直接影响孤子的频谱...

 全文 | 引用本文 | 本期目录2020年第40卷第22期, p.2219001