光学 精密工程, 2004, 12 (3): 270, 网络出版: 2006-11-03
Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用
摘要
利用Zemax光学设计软件与自编计算机辅助装调软件,实现了对大口径、长焦距、无中心遮拦离轴三反射镜光学系统的装调.通过Zemax软件模拟光学系统的失调模式,得到整个光学系统的波前像差,把波前像差代人到自编的复杂光学系统计算机辅助装调软件中,计算出光学系统的失调量,与引入的失调量对比,证明了其正确性.在实际的装调过程中,用小型球面干涉仪分别收集3个视场的干涉图,得到失调光学系统的失调量,用Zemax软件验证失调量数据的正确性,从而指导?暗?按此方法,在波长λ=632.8 nm时,得到离轴三反射镜光学系统的全视场波像差RMS值为0.108λ.该方法也可以运用到其他光学系统中.
Abstract
杨晓飞, 张晓辉, 韩昌元. Zemax软件在离轴三反射镜系统计算机辅助装调中的应用[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(3): 270. 杨晓飞, 张晓辉, 韩昌元. [J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(3): 270.