超精密测量技术与仪器是高端制造发展的前提与基础 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2023, 60 (3): 0312001, 网络出版: 2023-03-06

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哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院

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谭久彬. 超精密测量技术与仪器是高端制造发展的前提与基础[J]. 激光与光电子学进展, 2023, 60(3): 0312001. Jiubin Tan. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023, 60(3): 0312001.

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