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微光
MOEMS光学系统的发展与应用
耿凡 *
作者单位
摘要
天津津航技术物理研究所,天津,300192
概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议.
微光电子机械系统 光学系统 制作技术 MOEMS Optical system Fabrication technology 
PDF全文 Full Text
红外与激光工程
2005, 34(1): 110
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