1 南京邮电大学 电子与光学工程学院
2 电子科学与技术国家级实验教学示范中心, 南京 210023
微光电子机械系统(MOEMS)气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力, 以及更高的测试精度。文章首先阐述了主要的光学气体传感系统的工作原理及系统结构, 随后介绍了MOEMS气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统。通过对MOEMS气体传感器的主要研究成果和进展的综述, 对未来MOEMS气体传感器的研究重点和研究挑战等进行了展望。
概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议.
微光电子机械系统 光学系统 制作技术 MOEMS Optical system Fabrication technology
