概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议.
微光电子机械系统 光学系统 制作技术 MOEMS Optical system Fabrication technology
1 中国科学院,西安光学精密机械研究所,西安,710068
2 深圳大学,光电子学研究所,深圳,518060
3 第二炮兵工程学院,西安,710025
为克服目前传感应用领域借用传感性能并不优异的通信用光纤光栅的不足,在总结传感用光纤光栅制作技术的特点和要求基础上,对近年来传感用光纤光栅的制作技术进行了系统回顾,具体分析了耐高温、高机械强度、增敏/去敏等常见传感用布喇格光纤光栅的写入技术以及紫外曝光、机械变形、红外激光逐点写入等传感用长周期光纤光栅的制作方法,最后对传感用光纤光栅制作技术的发展方向进行了预测.
光纤光栅 布喇格光纤光栅 长周期光纤光栅 制作技术 传感器
