极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型

刘晓雷; 李思坤; 王向朝

doi:doi:10.3788/aos201434.0905002

光学学报, 2014, 34 (9): 0905002, 网络出版: 2014-08-15

极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型

Simplified Model for Defective Multilayer Diffraction Spectrum Simulation in Extreme Ultraviolet Lithography

刘晓雷 ^1,2,*李思坤 ¹王向朝 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800

² 中国科学院大学, 北京 100049

引用该论文

刘晓雷, 李思坤, 王向朝. 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型[J]. 光学学报, 2014, 34(9): 0905002.

Liu Xiaolei, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Simplified Model for Defective Multilayer Diffraction Spectrum Simulation in Extreme Ultraviolet Lithography[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(9): 0905002.

引用列表

1、极紫外光刻掩模相位型缺陷检测方法光学学报, 2023, 43 (1): 0112001

2、极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术研究激光与光电子学进展, 2022, 59 (9): 0922022

3、极紫外光刻掩模相位型缺陷的形貌重建方法光学学报, 2020, 40 (10): 1005001

4、基于机器学习校正的极紫外光刻含缺陷掩模仿真方法光学学报, 2018, 38 (12): 1222002

5、基于改进型结构分解的极紫外光刻掩模衍射谱快速仿真方法光学学报, 2018, 38 (1): 105001

6、极紫外光刻含缺陷掩模仿真模型及缺陷的补偿光学学报, 2015, 35 (8): 822006

7、基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型光学学报, 2015, 35 (6): 622005

8、极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究激光与光电子学进展, 2015, 52 (6): 62201

刘晓雷, 李思坤, 王向朝. 极紫外光刻含缺陷多层膜衍射谱仿真简化模型[J]. 光学学报, 2014, 34(9): 0905002. Liu Xiaolei, Li Sikun, Wang Xiangzhao. Simplified Model for Defective Multilayer Diffraction Spectrum Simulation in Extreme Ultraviolet Lithography[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(9): 0905002.

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