光电工程, 2008, 35 (6): 23, 网络出版: 2010-03-01
宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究
Ion Energy and Energy Distribution of the Broad Beam Cool Cathode Ion Source
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 薄膜光学 |
| 项目基金: | 教育部重点科技项目(101-050502)、陕西省教育厅专项科研计划项目(05JK222)、陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室基金项目(ZSKJ200401) |
| 收稿日期: | 2007-10-23 |
| 修改稿日期: | 2008-02-24 |
| 网络出版日期: | 2010-03-01 |
| 通讯作者: | 徐均琪 (jqxu2210@yahoo.com.cn) |
| 备注: | -- |
徐均琪, 弥谦, 杭凌侠, 严一心, 董网妮. 宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究[J]. 光电工程, 2008, 35(6): 23. XU Jun-qi, MI Qian, HANG Ling-xia, YAN Yi-xin, DONG Wang-ni. Ion Energy and Energy Distribution of the Broad Beam Cool Cathode Ion Source[J]. Opto-Electronic Engineering, 2008, 35(6): 23.
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