宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究

徐均琪; 弥谦; 杭凌侠; 严一心; 董网妮

光电工程, 2008, 35 (6): 23, 网络出版: 2010-03-01

宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究

Ion Energy and Energy Distribution of the Broad Beam Cool Cathode Ion Source

徐均琪 ^*弥谦杭凌侠严一心董网妮

作者单位

西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安 710032

图 & 表

徐均琪, 弥谦, 杭凌侠, 严一心, 董网妮. 宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究[J]. 光电工程, 2008, 35(6): 23. XU Jun-qi, MI Qian, HANG Ling-xia, YAN Yi-xin, DONG Wang-ni. Ion Energy and Energy Distribution of the Broad Beam Cool Cathode Ion Source[J]. Opto-Electronic Engineering, 2008, 35(6): 23.