光电工程, 2008, 35 (6): 23, 网络出版: 2010-03-01
宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究
Ion Energy and Energy Distribution of the Broad Beam Cool Cathode Ion Source
离子能量 能量分布 离子源 离子束辅助沉积(IBAD) 薄膜 ion energy energy distribution ion beam source ion beam assisted deposition thin films
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