光学 精密工程, 2018, 26 (3): 588, 网络出版: 2018-04-25
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching
衍射光栅 曲面闪耀光栅 光栅刻蚀 三维工作台 圆弧拟合算法 轨迹误差 diffraction grating curved blazed grating grating etching 3D stage arc fitting algorithm track testing error
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