中国激光, 2019, 46 (12): 1202009, 网络出版: 2019-12-02   

抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制 下载: 1442次

Formation and Control of Scratches on Surfaces of Optical Components During Polishing
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
基本信息
DOI: 10.3788/CJL201946.1202009
中图分类号: TG356.28
栏目: 激光制造
项目基金: 国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目、国家自然科学基金面上项目、中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20180024)
收稿日期: 2019-04-23
修改稿日期: 2019-05-22
网络出版日期: 2019-12-02
通讯作者: 朱健强 (jqzhu@mail.shcnc.ac.cn)
备注: --

汤文龙, 梁尚娟, 焦翔, 樊全堂, 尹进, 朱健强. 抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制[J]. 中国激光, 2019, 46(12): 1202009. Wenlong Tang, Shangjuan Liang, Xiang Jiao, Quantang Fan, Jin Yin, Jianqiang Zhu. Formation and Control of Scratches on Surfaces of Optical Components During Polishing[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(12): 1202009.

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