中国激光, 2019, 46 (12): 1202009, 网络出版: 2019-12-02   

抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制 下载: 1442次

Formation and Control of Scratches on Surfaces of Optical Components During Polishing
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
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汤文龙, 梁尚娟, 焦翔, 樊全堂, 尹进, 朱健强. 抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制[J]. 中国激光, 2019, 46(12): 1202009. Wenlong Tang, Shangjuan Liang, Xiang Jiao, Quantang Fan, Jin Yin, Jianqiang Zhu. Formation and Control of Scratches on Surfaces of Optical Components During Polishing[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(12): 1202009.

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