光学学报, 2014, 34 (s1): s114012, 网络出版: 2014-07-22   

薄板陶瓷微孔的激光加工工艺研究

Technologic Investigation of Laser Micro-Drilling on the Thin Ceramic Plate
作者单位
1 哈尔滨工业大学深圳研究院电子与信息工程学院, 广东 深圳 518055
2 深圳市大族激光科技股份有限公司精密切割事业部, 广东 深圳 518057
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