ZrO<sub>2</sub>薄膜残余应力实验研究

邵淑英; 范正修; 范瑞瑛; 邵建达

光学学报, 2004, 24 (4): 437, 网络出版: 2006-06-12

ZrO₂薄膜残余应力实验研究

Study of Residual Stress in ZrO2 Thin Films

邵淑英 ^*范正修范瑞瑛邵建达

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心, 上海 201800

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	O484.1
栏目:	薄膜
项目基金:	--
收稿日期:	2003-01-03
修改稿日期:	2003-05-13
网络出版日期:	2006-06-12
通讯作者:	邵淑英 (shao_shuying@siom.ac.cn)
备注:	--

邵淑英, 范正修, 范瑞瑛, 邵建达. ZrO₂薄膜残余应力实验研究[J]. 光学学报, 2004, 24(4): 437. 邵淑英, 范正修, 范瑞瑛, 邵建达. Study of Residual Stress in ZrO2 Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(4): 437.