光学学报, 2004, 24 (4): 437, 网络出版: 2006-06-12
ZrO2薄膜残余应力实验研究
Study of Residual Stress in ZrO2 Thin Films
补充材料
邵淑英, 范正修, 范瑞瑛, 邵建达. ZrO2薄膜残余应力实验研究[J]. 光学学报, 2004, 24(4): 437. 邵淑英, 范正修, 范瑞瑛, 邵建达. Study of Residual Stress in ZrO2 Thin Films[J]. Acta Optica Sinica, 2004, 24(4): 437.