光学学报, 2004, 24 (4): 437, 网络出版: 2006-06-12
ZrO2薄膜残余应力实验研究
Study of Residual Stress in ZrO2 Thin Films
薄膜物理 残余应力 ZrO2薄膜 沉积温度 沉积速率 thin film physics residual stress ZrO2 films deposition temperature deposition rate
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