光子学报, 2019, 48 (12): 1223003, 网络出版: 2020-03-17
用于层间耦合的绝热光学倒锥工艺研究
Process Research of Optical Inverted Cone for Interlayer Coupling
光学倒锥 层间耦合 步进式光刻 光刻胶回流 刻蚀工艺 Optical inverted taper Interlayer coupling Step lithography Photoresist reflow Etching process
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