光学 精密工程, 2013, 21 (2): 400, 网络出版: 2013-02-26
垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜
Large-scale MOEMS scanning mirror actuated by vertical comb
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20132102.0400 |
中图分类号: | TH703 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA03Z406,2009AA03Z443)、国家自然科学基金资助项目(60877066) |
收稿日期: | 2012-09-05 |
修改稿日期: | 2012-10-29 |
网络出版日期: | 2013-02-26 |
通讯作者: | 刘英明 (liuyingming@mail.sim.ac.cn) |
备注: | -- |
刘英明, 徐静, 钟少龙, 翟雷应, 吴亚明. 垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜[J]. 光学 精密工程, 2013, 21(2): 400. LIU Ying-ming, XU Jing, ZHONG Shao-long, ZHAI Lei-ying, WU Ya-ming. Large-scale MOEMS scanning mirror actuated by vertical comb[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(2): 400.