光学 精密工程, 2013, 21 (2): 400, 网络出版: 2013-02-26
垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜
Large-scale MOEMS scanning mirror actuated by vertical comb
微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺 Microelectromechanical Systems (MEMS) scanning mirror vertical comb driver bulk micromaching
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