太赫兹科学与电子信息学报, 2020, 18 (3): 538, 网络出版: 2020-07-16
基于 HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展
Research progress of micro-scale hemispherical resonator gyroscopes based on etching of HNA solution
基本信息
| DOI: | 10.11805/tkyda2019046 |
| 中图分类号: | TN305 |
| 栏目: | 微电子、微系统与物理电子学 |
| 项目基金: | 中物院超精密加工技术重点实验室资助项目( ZM18005)；新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室开放基金资助项目 |
| 收稿日期: | 2019-01-30 |
| 修改稿日期: | 2019-03-12 |
| 网络出版日期: | 2020-07-16 |
| 通讯作者: | 熊壮 (xiong.zhuang@caep.cn) |
| 备注: | -- |
郑显泽, 唐彬, 王月, 熊壮. 基于 HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2020, 18(3): 538. ZHENG Xianze, TANG Bin, WANG Yue, XIONG Zhuang. Research progress of micro-scale hemispherical resonator gyroscopes based on etching of HNA solution[J]. Journal of terahertz science and electronic information technology, 2020, 18(3): 538.
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