基于微电子机械系统 (MEMS)加工技术的微半球谐振陀螺在吸收了传统半球陀螺全角测量优势的同时具有体积小，质量轻，成本低以及适合批量化生产的特点。在使用牺牲层法来制备微半球壳层结构的过程中，如何 在单晶硅上制作一个表面光滑的、结构整体对称性高的半球型模具对于半球谐振子的性能有决定性的影响。在 HNA(氢氟酸、硝酸、醋酸 )各向同性腐蚀液制作微半球谐振子模具的原理基础上，介绍基于 HNA溶液各向同性腐 蚀的微半球谐振陀螺研究进展，指出了各向同性腐蚀工艺目前所面临的主要技术问题，并对此提出了一些可能的解决途径。

针对PET塑料耐温性能较差，与标准微纳加工工艺不兼容等问题，开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5 mm厚PET基底，并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。工艺结果表明，本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作。通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率，可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3。

环形谐振器是微机电系统（MEMS）谐振器中典型结构之一。其中, 椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态, 也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标, 以有限元分析为技术手段, 采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量分析。分析结果表明, 与研究者普遍认为的观点相反, 谐振器锚点振荡模态的激发并不有助于提高谐振器的Q值。

飞行器由北斗回传地面导航台前面若干个时刻的飞行状态数据来实现实时监控, 需对飞行器当前乃至后续若干时刻的状态进行预测。通过Kalman滤波、粒子滤波等方法对飞行器飞行状态进行预测与估计的研究, 提出采用多点状态数据的动态加权平均得出飞行器当前及后续的飞行状态数据, 并在数字地球上实时显示, 从而实现飞行器实时监控, 获得很好效果。通过对飞行器真实数据抽取后预测进行算法对照实验, 平均相对误差为0.03%。

为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz, Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点, 设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针, 并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度, 从结构设计和检测方法入手, 对原有探针进行改进。设计了简单有效的电阻差分检测方法, 成功去处了输入端与输出端的耦合现象;采用局部离子注入的方法, 提高了压阻敏感的传输效率。实验结果显示, 在输入信号相同的条件下, 改进后探针的输出信号与原有探针相比, 输出信号得到了明显提高。计算结果表明, 采用新方法制作的探针可使力灵敏度提高10倍以上。

分析了Nd:YVO4激光器实现双波长运转及腔内和频的条件, 利用一种LD泵浦Nd:YVO4晶体产生1 064 nm和914 nm双波长激光束,采用一个线性平凹腔结构, 利用腔内Ⅰ类临界相位匹配LBO和频, 获得了连续波输出的全固态激光器。实验采用端面结构, 在5.0 W的808 nm泵浦功率下, 获得了最高功率为25 mW连续波TEM00的激光输出, 光-光转换效率为0.05%。