中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
针对PET塑料耐温性能较差，与标准微纳加工工艺不兼容等问题，开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5 mm厚PET基底，并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。工艺结果表明，本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作。通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率，可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3。
石墨烯 应变计 PET塑料 微纳加工 graphene strain sensor PET micro-fabrication 强激光与粒子束
2018, 30(3): 034101
