中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
针对PET塑料耐温性能较差，与标准微纳加工工艺不兼容等问题，开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5 mm厚PET基底，并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。工艺结果表明，本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作。通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率，可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3。
石墨烯 应变计 PET塑料 微纳加工 graphene strain sensor PET micro-fabrication 强激光与粒子束
2018, 30(3): 034101
1 中国工程物理研究院电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院北京研究生部, 北京 100088
3 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆 400044
激光自混合干涉测量系统具有结构简单、紧凑、易准直、造价低廉等优点, 能够取代传统干涉仪用于位移、距离、速度、振动等物理量的测量, 将其引入到微机电系统(MEMS)动态测试中, 能够发展成结构小巧、造价低廉的MEMS动态测试系统, 非常适于微机械快速振动及精确测量的要求。基于三镜腔模型, 讨论了激光自混合干涉动态测试原理; 构建了激光自混合干涉动态测试系统, 并对关键部件进行了详细分析; 对物体在不同运动形式下进行了实验研究。结果表明激光自混合干涉能够敏感物体的不同运动形式, 并支持MEMS动态测试系统。
激光测量 自混合 干涉测量 动态测试 微机电系统
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621900
2 中国工程 物理研究院 北京研究生部,北京 100088
3 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室,重庆 400044
提出一种基于快速傅里叶变换(FFT)提取相位的方法,分析自混合干涉信号,不增加系统复杂度就能将激光自混合(SMLD)微位移测量精度提高到纳米量级。在激光自混合微位移测量原理的基础上,介绍了FFT提取相位信号处理方法的思想,并对反馈光水平、傅里叶变换周期大小、物体运动快慢、物体振动幅度大小4种影响因素进行了仿真分析。从仿真和实验结果可知,该信号处理方法适合低速、小幅度运动物体的测量。应用该方法,选择合适的反馈光水平、傅里叶变换周期,可使激光自混合微位移测量精度达到10 nm以内。
微位移测量 快速傅里叶变换 自混合干涉 激光测量 激光与光电子学进展
2010, 47(7): 071201
1 中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院 北京研究生部,北京 100088
3 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室, 重庆 400044
激光自混合能有效用于匀速运动物体的速度测量,为了加速激光自混合用于物体速度测量的实用化进程,对激光自混合用于变速运动物体的速度测量进行了探索。引入了基于多项式相位参数提取的信号处理算法;基于激光自混合的测速原理,推导了激光自混合用于变速测量时输出信号的多项式相位表示式,也即建立了激光自混合用于变速测量的仿真模型。通过仿真分析证明:在激光自混合变速测量中采用基于相位多项式参数提取的方法,可以获得物体运动的速度和加速度信息;该方法在较低信噪比的情况下仍然适用。
变速测量 多项式相位 快速傅里叶变换 自混合干涉 激光测量 time-varying velocity measurement polynomial phase fast Fourier transform self-mixing interference laser measurement
1 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院北京研究生部,北京 100088
3 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室,重庆 400044
为了探讨二极管激光自混合是否可用于高速(km/s)物体的速度测量,对二极管激光自混合测速上限(MMV)问题进行了理论分析。基于三镜腔模型得到了激光器输出功率波动频率与多普勒频率的关系,从载流子密度和光子密度的速率方程出发,将外部反馈光引入的扰动看成是以多普勒频率对激光器产生的小信号调制,得到激光自混合测速上限受激光器弛豫谐振频率大小限制的结论;根据理论分析,测速上限可达千米每秒。
测量 速度测量 干涉测量 二极管激光器 自混合
