中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
针对PET塑料耐温性能较差，与标准微纳加工工艺不兼容等问题，开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长、转移等方式将单层石墨烯薄膜附着于0.5 mm厚PET基底，并采用微纳加工的方式制备了柔性石墨烯压阻应变计。工艺结果表明，本研究所提出的加工方法适用于以PET塑料作为衬底材料的柔性微纳器件的制作。通过对PET塑料衬底施加应变并测量石墨烯的电阻变化率，可计算出石墨烯的压阻应变系数约为1.3。
石墨烯 应变计 PET塑料 微纳加工 graphene strain sensor PET micro-fabrication 强激光与粒子束
2018, 30(3): 034101
中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
环形谐振器是微机电系统（MEMS）谐振器中典型结构之一。其中, 椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态, 也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标, 以有限元分析为技术手段, 采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量分析。分析结果表明, 与研究者普遍认为的观点相反, 谐振器锚点振荡模态的激发并不有助于提高谐振器的Q值。
环形谐振器 锚损 支撑点震动模态 MEMS MEMS ring resonator anchor loss anchor vibration mode 强激光与粒子束
2016, 28(6): 064121
南京交通职业技术学院公路工程系,江苏南京211188
:三维激光扫描技术是国际上近期发展的一项高新技术。随着三维激光扫描仪在工程领域的广泛应用,这种技术已经引起了广大科研人员的关注。文中介绍了三维激光扫描测量仪的工作原理,给出了处理点云数据的过程和方法,阐述了建筑物三维建模的方法,并用实例介绍了整体方法的实现过程和效果。实践结果表明,利用三维激光扫描技术获取的空间点云数据,可快速建立结构复杂、不规则的场景的三维可视化模型,既省时又省力,这种能力是现行的三维建模软件所不可比拟的。
三维激光扫描仪 点云 二维建模 工程应用 three-dimensional laser scanner point cloud three dimension modeling engineering application
