太赫兹科学与电子信息学报, 2020, 18 (3): 538, 网络出版: 2020-07-16
基于 HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展
Research progress of micro-scale hemispherical resonator gyroscopes based on etching of HNA solution
微半球谐振陀螺 各向同性腐蚀 HNA溶液 单晶硅 半球谐振子 Micro Hemispherical ResonatorGyroscopes isotropicetching HNA solution single crystal silicon hemispherical shell resonators
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