太赫兹科学与电子信息学报, 2020, 18 (3): 538, 网络出版: 2020-07-16  

基于 HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展

Research progress of micro-scale hemispherical resonator gyroscopes based on etching of HNA solution
作者单位
中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621999
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