光学 精密工程, 2012, 20 (12): 2696, 网络出版: 2013-01-07
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
Design and fabrication of flexible MEMS anti-drag skin
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20122012.2696 |
| 中图分类号: | TN405;U661.3 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(No.20110002110077) |
| 收稿日期: | 2012-09-15 |
| 修改稿日期: | 2012-10-19 |
| 网络出版日期: | 2013-01-07 |
| 通讯作者: | 李勇 (liyong@mail.tsinghua.edu.cn) |
| 备注: | -- |
李勇, 李文平, 朱效谷. 柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(12): 2696. LI Yong, LI Wen-ping, ZHU Xiao-gu. Design and fabrication of flexible MEMS anti-drag skin[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(12): 2696.
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