光学 精密工程, 2012, 20 (12): 2696, 网络出版: 2013-01-07
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
Design and fabrication of flexible MEMS anti-drag skin
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李勇, 李文平, 朱效谷. 柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(12): 2696. LI Yong, LI Wen-ping, ZHU Xiao-gu. Design and fabrication of flexible MEMS anti-drag skin[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(12): 2696.
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