光学 精密工程, 2012, 20 (12): 2696, 网络出版: 2013-01-07
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
Design and fabrication of flexible MEMS anti-drag skin
减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS) anti-drag skin flexible Microelectromechanical Systems(MEMS) micro bubble micro well SU-8 polydimethylsiloxane(PDMS)
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