KrF准分子激光刻蚀PMMA研究

马美娟; 张运海; 满宝元

doi:doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.035

激光技术, 2011, 35 (5): 708, 网络出版: 2011-09-09

KrF准分子激光刻蚀PMMA研究

Research of PMMA etched by KrF excimer laser

马美娟 ^1,*张运海 ¹满宝元 ²

作者单位

¹ 菏泽学院物理系，菏泽 274015

² 山东师范大学物理与电子科学学院，济南 250014

基本信息

DOI:	10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.035
中图分类号:	TN249
栏目:
项目基金:	山东省自然科学基金资助项目(Y2008A16)；菏泽学院科研基金资助项目(XY09WL02)
收稿日期:	2010-12-13
修改稿日期:	2010-12-30
网络出版日期:	2011-09-09
通讯作者:	马美娟 (winter4686@sina.com)
备注:	--

马美娟, 张运海, 满宝元. KrF准分子激光刻蚀PMMA研究[J]. 激光技术, 2011, 35(5): 708. MA Mei-juan, ZHANG Yun-hai, MAN Bao-yuan. Research of PMMA etched by KrF excimer laser[J]. Laser Technology, 2011, 35(5): 708.