激光技术, 2011, 35 (5): 708, 网络出版: 2011-09-09
KrF准分子激光刻蚀PMMA研究
Research of PMMA etched by KrF excimer laser
激光技术 光与物质相互作用 激光刻蚀 高分子聚合物 有机玻璃 laser technique interaction between light and matter laser etching high polymers polymethylmetharcylate
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