一种新型微机电系统法布里珀罗滤波器的设计与分析

张建飞; 庄须叶; 汪为民; 陶逢刚; 姚军

doi:doi:10.3788/aos201232.0822005

光学学报, 2012, 32 (8): 0822005, 网络出版: 2012-06-25

一种新型微机电系统法布里珀罗滤波器的设计与分析

Structure Design and Analysis of a New Type MEMS Fabry-Perot Filter

张建飞 ^1,2,*庄须叶 ¹汪为民 ¹陶逢刚 ^1,2姚军 ¹

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川成都 610209

² 中国科学院研究生院, 北京 100049

图 & 表

张建飞, 庄须叶, 汪为民, 陶逢刚, 姚军. 一种新型微机电系统法布里珀罗滤波器的设计与分析[J]. 光学学报, 2012, 32(8): 0822005. Zhang Jianfei, Zhuang Xuye, Wang Weimin, Tao Fenggang, Yao Jun. Structure Design and Analysis of a New Type MEMS Fabry-Perot Filter[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(8): 0822005.