光学学报, 2012, 32 (8): 0822005, 网络出版: 2012-06-25
一种新型微机电系统法布里珀罗滤波器的设计与分析
Structure Design and Analysis of a New Type MEMS Fabry-Perot Filter
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张建飞, 庄须叶, 汪为民, 陶逢刚, 姚军. 一种新型微机电系统法布里珀罗滤波器的设计与分析[J]. 光学学报, 2012, 32(8): 0822005. Zhang Jianfei, Zhuang Xuye, Wang Weimin, Tao Fenggang, Yao Jun. Structure Design and Analysis of a New Type MEMS Fabry-Perot Filter[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(8): 0822005.