微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN<sub>x</sub>薄膜的光学性能研究

叶超; 宁兆元; 项苏留; 沈明荣; 汪浩; 甘肇强

光学学报, 1997, 17 (4): 489, 网络出版: 2006-10-31

微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究

Optical Properties of SiN_x Films Prepared by Microwave ECR-CVD

叶超 ¹宁兆元 ¹项苏留 ²沈明荣 ¹汪浩 ¹甘肇强 ¹

作者单位

¹ 苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室, 苏州 215006

² 苏州大学分析测试中心, 苏州 215006

图 & 表

叶超, 宁兆元, 项苏留, 沈明荣, 汪浩, 甘肇强. 微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究[J]. 光学学报, 1997, 17(4): 489. 叶超, 宁兆元, 项苏留, 沈明荣, 汪浩, 甘肇强. Optical Properties of SiN_x Films Prepared by Microwave ECR-CVD[J]. Acta Optica Sinica, 1997, 17(4): 489.