光学学报, 1997, 17 (4): 489, 网络出版: 2006-10-31
微波电子回旋共振-化学气相沉积SiNx薄膜的光学性能研究
Optical Properties of SiNx Films Prepared by Microwave ECR-CVD
氮化硅薄膜 光学性能 微波电子回旋共振-化学气相沉积 SiNx film optical property microwave electron cyclotron resonance-chemical v
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