光学学报, 2019, 39 (11): 1124002, 网络出版: 2019-11-06   

利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯 下载: 1107次

Detection of Chemical Vapor Deposition-Prepared Graphene by Surface Plasmon Polariton Imaging
作者单位
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心, 北京 100029
2 中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 北京 100029
3 中国科学院大学, 北京 100049
4 北京交通大学, 北京 100044
5 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心, 北京 100029
6 集成电路测试技术北京市重点实验室, 北京 100088
基本信息
DOI: 10.3788/AOS201939.1124002
中图分类号: O436.2
栏目: 表面光学
项目基金: 国家重点研发计划、国家自然科学基金 、北京市自然科学基金项目、广东省科技计划项目、广州市科技计划项目、清华大学环境模拟与污染控制国家重点联合实验室开放课题(18K07ESPCT)
收稿日期: 2019-06-24
修改稿日期: 2019-07-12
网络出版日期: 2019-11-06
通讯作者: 路鑫超 (luxinchao@ime.ac.cn), 卢维尔 (luweier@ime.ac.cn)
备注: --

魏茹雪, 王延伟, 江丽雯, 孙旭晴, 刘虹遥, 王畅, 路鑫超, 卢维尔, 夏洋, 黄成军. 利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯[J]. 光学学报, 2019, 39(11): 1124002. Ruxue Wei, Yanwei Wang, Liwen Jiang, Xuqing Sun, Hongyao Liu, Chang Wang, Xinchao Lu, Weier Lu, Yang Xia, Chengjun Huang. Detection of Chemical Vapor Deposition-Prepared Graphene by Surface Plasmon Polariton Imaging[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(11): 1124002.

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