光学学报, 2019, 39 (11): 1124002, 网络出版: 2019-11-06   

利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯 下载: 1107次

Detection of Chemical Vapor Deposition-Prepared Graphene by Surface Plasmon Polariton Imaging
作者单位
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心, 北京 100029
2 中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 北京 100029
3 中国科学院大学, 北京 100049
4 北京交通大学, 北京 100044
5 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心, 北京 100029
6 集成电路测试技术北京市重点实验室, 北京 100088
图 & 表

图 1. 转移后石墨烯表面检测。(a)暗场显微镜;(b) SEM

Fig. 1. Surface detection of transferred graphene. (a) Dark-field microscopy; (b) SEM

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图 2. SPP显微成像光路示意图

Fig. 2. Schematic of optical path of SPP microscopic imaging

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图 3. SPP检测石墨烯原理图。(a)基于Kretschmann结构激发SPP的示意图;(b)界面处石墨烯折射率变化引起反射光强度变化;(c)缺陷引起界面处SPP场分布变化(点:缺陷;直线:入射SPP;虚线:散射SPP)

Fig. 3. Principle of graphene detection by SPP. (a) Schematic of SPP excited by Kretschmann configuration; (b) change of reflectance introduced by refractive index of graphene at interface; (c) change of SPP field distribution on interface induced by defects (dot: defect; straight line: incident SPP; dashed line: scattered SPP)

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图 4. SPP对石墨烯不同边界处的成像,箭头代表SPP传输方向

Fig. 4. SPP imaging of different graphene edges and propagation direction of SPP is shown as arrow

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图 5. 对石墨烯内部成像,箭头代表SPP传输方向。(a) SPP成像;(b) SEM成像

Fig. 5. Internal imaging of graphene and propagation direction of SPP is shown as arrow. (a) SPP imaging; (b) SEM imaging

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图 6. 对转移后石墨烯边缘断裂成像,箭头代表SPP传输方向。(a) SPP成像;(b) SEM成像

Fig. 6. Imaging of wrinkles and break on edge of transferred graphene and propagation direction of SPP is shown as arrow. (a) SPP imaging; (b) SEM imaging

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图 7. 对转移后石墨烯的杂质颗粒成像,箭头代表SPP传输方向。(a) SPP成像;(b) SEM成像

Fig. 7. Imaging of impurity nanoparticles on transferred graphene and propagation direction of SPP is shown as arrow. (a) SPP imaging; (b) SEM imaging

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图 8. 对转移后石墨烯的其他杂质成像,箭头代表SPP传输方向。(a) SPP成像;(b) SEM成像

Fig. 8. Imaging of other impurities on transferred graphene and propagation direction of SPP is shown as arrow. (a) SPP imaging; (b) SEM imaging

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魏茹雪, 王延伟, 江丽雯, 孙旭晴, 刘虹遥, 王畅, 路鑫超, 卢维尔, 夏洋, 黄成军. 利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯[J]. 光学学报, 2019, 39(11): 1124002. Ruxue Wei, Yanwei Wang, Liwen Jiang, Xuqing Sun, Hongyao Liu, Chang Wang, Xinchao Lu, Weier Lu, Yang Xia, Chengjun Huang. Detection of Chemical Vapor Deposition-Prepared Graphene by Surface Plasmon Polariton Imaging[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(11): 1124002.

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