光学学报, 2019, 39 (11): 1124002, 网络出版: 2019-11-06   

利用表面等离激元成像检测化学气相沉积法生长石墨烯 下载: 1110次

Detection of Chemical Vapor Deposition-Prepared Graphene by Surface Plasmon Polariton Imaging
作者单位
1 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心, 北京 100029
2 中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心, 北京 100029
3 中国科学院大学, 北京 100049
4 北京交通大学, 北京 100044
5 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心, 北京 100029
6 集成电路测试技术北京市重点实验室, 北京 100088
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