光学学报, 2019, 39 (12): 1222002, 网络出版: 2019-12-06
基于差分进化算法的光刻机匹配方法 下载: 1394次
Lithographic Tool-Matching Method Based on Differential Evolution Algorithm
补充材料
茅言杰, 李思坤, 王向朝, 韦亚一. 基于差分进化算法的光刻机匹配方法[J]. 光学学报, 2019, 39(12): 1222002. Yanjie Mao, Sikun Li, Xiangzhao Wang, Yayi Wei. Lithographic Tool-Matching Method Based on Differential Evolution Algorithm[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(12): 1222002.