光学学报, 2019, 39 (12): 1222002, 网络出版: 2019-12-06
基于差分进化算法的光刻机匹配方法 
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Lithographic Tool-Matching Method Based on Differential Evolution Algorithm
光学设计 光学制造 光刻 光刻机匹配 光源优化 差分进化 optical design optical fabrication lithography lithographic tool-matching source optimization differential evolution
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