半导体光电, 2012, 33 (3): 307, 网络出版: 2012-06-25  

原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展

Progresses on Applications of Atomic Layer Deposition in Solar Cells
作者单位
复旦大学 微电子学系ASIC与系统国家重点实验室,上海200433
基本信息
DOI: --
中图分类号: TM914.4
栏目: 动态综述
项目基金: 国家自然科学基金项目(51102048);复旦大学自主创新科研项目;复旦大学人才引进启动资金项目; ASIC与系统国家重点实验室面上项目 (11MS017)
收稿日期: 2012-03-07
修改稿日期: --
网络出版日期: 2012-06-25
通讯作者: 谢章熠 (honglianglu@fudan.edu.cn)
备注: --

谢章熠, 谢立恒, 耿阳, 孙清清, 周鹏, 卢红亮, 张卫. 原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展[J]. 半导体光电, 2012, 33(3): 307. XIE Zhangyi, XIE Liheng, GENG Yang, SUN Qingqing, ZHOU Peng, LU Hongliang, ZHANG Wei. Progresses on Applications of Atomic Layer Deposition in Solar Cells[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2012, 33(3): 307.

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